ESDP干式螺桿真空泵

優點特征

　　吸入效率(提升15%)。

　　排氣效率改善(2級可變，連續可變頻率)。

　　極限壓力：1*10-2Torr(托)。

　　排氣溫度降低50%。

　　電力消耗減少30%。

　　不使用油和水，不會造成油和水的污染。

　　低功耗、低噪音、低振動，動平衡好，沒有慣性力，可高速運行。

　　設計結構簡單，易保養，維修費用低，沒有易損件，壽命長。

　　適用范圍廣，具有高真空性能。

　　使用壽命長，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。

　　不采用機械密封，密封部件無污染，不會因污染而頻繁發生故障。

　　前后采用稀有潤滑方式，提高軸承耐用性。

標準配件

　　基座和防護罩

　　排氣消聲器及進氣分離器

　　吸氣口

　　止回閥

　　真空計

可選配件

　　吸濾器

　　排氣冷凝器

　　吸入式氣液分離器

　　流量開關及溫度開關

ESDP干式螺桿泵的應用范圍

　　ESDP系列在半導體合成及液晶生產上的應用，主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。

　　在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。

　　制藥行業，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。

　　化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝

　　工業排氣;集中式真空處理系統

　　擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝

　　混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物

　　食品行業用于香料、香精濃縮，食品包裝等。

技術參數